■ 概要
◆ 走査型電子顕微鏡(SEM)
電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる。
SEM は光学顕微鏡をはるかに凌ぐ分解能を有するため、材料や半導体デバイス、医学、生物学など、様々な分野で幅広く利用されている。
(参考URL: 日本分析機器工業会)
◆ エネルギー分散型X線分光法(EDX/EDS)
物質にＸ線を照射すると蛍光Ｘ線が発生し、その中には元素特有の特性Ｘ線が含まれている。
その特性Ｘ線のエネルギーを強度として計測することにより、非破壊、多元素同時かつ前処理不要で粉末、液体、固体試料中の元素分析や元素分布を容易に測定することが可能となる。
(参考URL: 日本分析機器工業会)
- SEM: Scanning Electron Microscope
- EDX/EDS: Energy Dispersive X-ray Spectroscopy
■ 剥離紙分析における利用領域
Now Construction
